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신성이엔지, 제습 청정기능 통합한 클린룸'EDM' 공개
신성이엔지 부스(사진 위)와 첨단 클린룸 솔루션./투데이에너지
[투데이에너지 신일영 기자] 신성이엔지가 22일부터 24일까지 코엑스에서 열리는 '반도체 대전(SEDEX 2025)'에 참가해 첨단 클린룸 솔루션을 선보였다.
신성이엔지는 이번 전시회에서 기존 청정 장비에 제습 기능을 더한 차세대 장비(EDM)를 선보여 호평을 받았다.
EDM은 국내 클린룸 분야의 선도업체인 신성이엔지가 야심차게 개발한 신기술로, 습도 감지 센서와 자동 제어 시스템으로 팹 내 공기 중 수분을 제거하고 일정한 습도를 유지한다.
고도화된 반도체 공정에 특화된 이 장비는 고객들의 니즈를 반영해 제습과 청정기능을 통합, 클린룸의 필수조건을 만족시켰다는 평가를 받고 있다.
또한, 이를 통해 웨이퍼 부식과 회로 이상을 예방해 수율 향상에 기여한다.
신성이엔지는 1977년부터 클린룸 공조 분야를 개척해온 기업으로, 국내 최초로 산업용 공기청정기(FFU)를 국산화한 이후 반도체·디스플레이 클린룸 핵심 파트너로 성장했다.
현재는 국내를 넘어 말레이시아 텍사스인스트루먼트와 미국 반도체 팹 프로젝트 등 사업을 확대하며 글로벌 시장에서 입지를 강화하고 있다.
한편 신성이엔지는 산업통상자원부와 에너지평가기술원이 지원하는 '산업용 고청정 설비 초고효율화 기술개발 및 실증 사업' 주관기관으로 선정돼 기술 경쟁력을 입증한 바 있다.