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신성이엔지, 반도체대전서 클린룸 통합 솔루션 공개
신성이엔지 SEDEX 2026 부스 조감도 / 신성이엔지 제공
[투데이에너지 김원빈 기자] 신성이엔지가 오는 14일부터 16일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘SEDEX 2026(반도체대전)’에 참가해 반도체·디스플레이 클린룸 통합 솔루션을 선보인다.
한국반도체산업협회가 주관하는 SEDEX는 국내 최대 규모의 반도체 전문 전시회다. 반도체 공정 미세화로 클린룸의 온·습도와 청정도 관리가 수율과 품질을 좌우하는 핵심 요소로 부상하고 있다.
신성이엔지는 이번 전시에서 △수가습시스템 △EDM(장비용 제습 모듈) △ICF(케미컬필터 내장형 팬필터유닛) △OAC(외기공조기) 등 공정 환경 관리 제품을 소개한다.
수가습시스템은 압축공기로 물을 기화시켜 클린룸 습도를 유지하는 설비로, 증기가습 방식보다 전체 소비 전력량을 30% 줄일 수 있다. EDM은 소형 데시칸트 휠을 활용해 정밀 공정에 필요한 저습도 환경을 구현한다. ICF는 별도 설치 공간을 줄이고 작업자 동선을 확보하며, OAC는 외부 오염 공기를 정화해 공급하고 클린룸의 양압과 온·습도 유지를 지원한다.
미립자 가시화 시스템과 핸디형 파티클 가시화 장치도 시연한다. 미세 파티클의 위치와 유입 경로를 시각적으로 확인해 오염원을 진단하고, 기존 장비로 접근하기 어려운 공간의 오염 관리도 지원한다. 제품과 기술 정보를 확인할 수 있는 키오스크도 운영한다.
신성이엔지는 미국·유럽·중국·동남아·인도 등 주요 반도체 생산 거점에 지법인을 두고 해외 사업을 확대하고 있다. 지난 9월 싱가포르 ‘Data Centre World Asia 2026’에서 AI 데이터센터 냉각 솔루션을 선보인 데 이어 이번 전시에서는 클린룸 기술을 앞세워 반도체와 데이터센터 분야의 글로벌 고객 접점을 넓힐 계획이다.
신성이엔지 관계자는 “반도체 공정이 고도화될수록 클린룸의 습도와 청정도, 오염 관리 수준이 중요해진다”며 “공정 환경 전반을 아우르는 기술력을 선보이고 글로벌 시장 공략을 강화하겠다”고 말했다.