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▲ 핵융합에너지연구원 오영국 원장(左)과 세라믹기술원 윤종석 원장이 협약 체결 후 기념촬영에 응하고 있다.

한국핵융합에너지연구원이 반도체·디스플레이 제조 장비에 들어가는 세라믹 소재부품의 내플라즈마 특성을 객관적으로 평가할 수 있는 데이터 기반 평가 체계 마련에 나선다.

한국핵융합에너지연구원(원장 오영국)은 지난 13일 대전 본원에서 한국세라믹기술원(원장 윤종석)과 ‘플라즈마 공정용 세라믹 소재부품의 내플라즈마 특성 데이터 개발 및 AI 기반 공동연구·활용 플랫폼 구축’을 위한 상호협력협약을 체결했다고 밝혔다.

이번 협약은 반도체·디스플레이 제조 공정에 활용되는 세라믹 소재·부품의 플라즈마 내구성과 반응 특성을 데이터로 확보하고, 이를 표준화·공동활용하기 위한 협력 기반을 마련하기 위해 추진됐다.

반도체·디스플레이 공정에서는 플라즈마를 이용해 소재를 깎거나 증착하는 과정이 반복된다. 이 과정에서 공정 장비 내부의 세라믹 소재·부품은 고에너지 플라즈마에 장시간 노출되기 때문에, 소재가 얼마나 안정적으로 성능을 유지하는지 평가하고 예측하는 기술이 중요하다.

특히 세라믹 소재·부품의 내플라즈마 특성은 공정 안정성, 장비 수명, 제품 품질과도 밀접하게 연결된다. 이에 따라 플라즈마 환경에서 소재가 어떻게 반응하고 변화하는지를 체계적으로 축적하고, 객관적으로 비교·평가할 수 있는 데이터 기반 평가 체계 마련의 중요성이 커지고 있다.

이에 양 기관은 이번 협약을 통해 △세라믹 내플라즈마 특성 데이터 확보 및 데이터 기반 공동활용 플랫폼 구축 △세라믹 소재부품 공동연구사업 발굴 및 추진 △연구자료·정보 공유와 연구 인프라 공동활용 등을 추진한다.

세라믹기술원은 소재부품의 특성 평가와 표준화 역량을 바탕으로 세라믹 산업의 기술 고도화와 기업 경쟁력 강화를 지원하고 있다.

핵융합연은 플라즈마 연구와 데이터 해석 역량을 바탕으로 세라믹 소재·부품의 플라즈마 반응 특성 분석에 협력하고, 세라믹기술원은 소재·부품의 시험·분석·평가 및 표준화 역량을 바탕으로 소재 평가 기반 마련을 지원한다.

양 기관은 이를 통해 국가기술표준원의 국가참조표준센터를 통한 플라즈마 공정용 세라믹 소재·부품의 내플라즈마 특성 국가참조표준 등록을 추진하고, AI 기반 해석 기술을 활용해 반도체·디스플레이 산업 현장에서 활용 가능한 평가·분석 체계로 발전시켜 나갈 계획이다.

핵융합연 오영국 원장은 “플라즈마 공정의 고도화와 첨단 제조산업의 경쟁력 강화를 위해서는 신뢰성 있는 소재 데이터와 평가 기반이 중요하다”며, “이번 협력을 계기로 AI 기반 데이터 활용 기술을 고도화해 첨단 소재·부품 산업의 혁신과 기술 경쟁력 강화에 기여하겠다”고 밝혔다.

출처 : 신소재경제(https://www.amenews.kr/)