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[에너지신문] 한국가스안전공사가 반도체 핵심 장비인 극자외선(EUV) 노광장비의 도입과 검사 절차를 대폭 단축하는 제도 개선을 추진한 성과를 인정받아 글로벌 반도체 장비기업 ASML로부터 감사패를 받았다. 공사는 관련 법령과 검사체계를 신속히 정비해 EUV 장비의 국내 도입 기간을 기존 34일에서 9일로 줄이고 검사 기간도 50일에서 18일로 단축하며 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여했다.

가스안전공사는 21일 네덜란드 반도체 장비기업 ASML의 시넴 귀벤(Sinem Guven) 부사장이 공사를 방문해 EUV 장비의 신속한 제도 개선과 검사체계 혁신 노력에 대한 감사의 뜻을 전하고 감사패를 전달했다고 밝혔다.

▲시넴 귀벤 ASML 부사장과 박경국 가스안전공사 사장(오른쪽)이 감사패와 함께 기념사진을 촬영하고 있다.

공사는 정부와 협력해 EUV 장비를 '고압가스 안전관리법'상 특정설비로 전환하는 법령 개정을 추진했다. 이를 통해 EUV 장비의 국내 도입 기간을 기존 34일에서 9일로 대폭 단축해 반도체 생산라인 구축의 신속성을 높였다.

또한 반도체 제조용 극자외선 노광장비의 시설·기술·검사 기준을 담은 상세기준 'AA916' 제정 과정에서는 업계와 전문가 의견을 폭넓게 수렴해 현장의 요구를 제도에 반영했다. 분과위원회와 기준위원회 심의, 정부 승인 등 상세기준 제·개정 절차도 한 달여 만에 마무리하며 EUV 장비의 국내 도입과 조기 가동을 지원했다.

공사는 후속 조치로 검사 절차를 개선해 '패스트트랙 검사'도 도입했다. 공사 내 전문가로 합동 심사팀을 구성하고 기존에 순차적으로 진행하던 공장심사와 생산단계검사를 통합 운영하면서 검사 기간을 기존 50일에서 18일로 크게 단축했다.

이 같은 제도 개선으로 EUV 장비의 국내 반입과 설치 일정에 대한 예측 가능성이 높아지고, 반도체 기업들의 행정적·시간적 부담도 크게 줄어들 것으로 공사는 기대하고 있다.

박경국 가스안전공사 사장은 "이번 제도 개선과 검사 혁신은 안전관리 수준은 유지하면서 산업 현장의 불합리한 부담은 줄인 규제 합리화의 모범 사례"라며 "앞으로도 반도체 산업의 경쟁력 확보와 안정적인 성장을 지원할 수 있도록 산업계와 긴밀히 소통하겠다"고 말했다.

출처 : 에너지신문(https://www.energy-news.co.kr/)