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가스안전公, 반도체 EUV 장비 규제혁신 감사패 수상
▲ (左부터)시넴 귀벤(Sinem Güven) ASML 부사장과 박경국 한국가스안전공사 사장이 감사패와 함께 기념사진을 촬영하고 있다.
한국가스안전공사(사장 박경국)가 반도체 제조용 극자외선(EUV) 노광장비의 신속한 국내 도입을 위해 제도를 개선하고 검사체계를 혁신하며 반도체 산업의 규제 부담 완화에 기여했다.
한국가스안전공사는 21일 네덜란드 반도체 장비기업 ASML의 시넴 귀벤(Sinem Guven) 부사장이 공사를 방문해 EUV 장비 관련 규제 개선과 검사 혁신에 대한 감사의 뜻을 전하며 감사패를 전달했다고 밝혔다.
공사는 정부와 협력해 EUV 장비를 ‘고압가스 안전관리법’상 특정설비로 전환하는 법령 개정을 추진하고, 관련 제도를 개선해 장비 도입 기간을 기존 34일에서 9일로 대폭 단축했다.
또한 반도체 제조용 극자외선 노광장비의 시설·기술·검사 기준인 ‘AA916’을 제정하는 과정에서 산업계와 전문가 의견을 폭넓게 수렴해 현장의 요구를 반영했다.
분과위원회와 기준위원회 심의, 정부 승인까지 이어지는 상세기준 제·개정 절차도 약 한 달 만에 마무리하며 EUV 장비의 신속한 국내 도입과 조기 가동을 지원했다.
후속 조치로는 검사 절차를 간소화한 ‘패스트트랙(Fast Track)’ 검사체계를 마련했다. 공사 내 전문가로 합동 심사팀을 구성해 기존에 순차적으로 진행하던 공장심사와 생산단계검사를 통합함으로써 검사 기간을 기존 50일에서 18일로 줄였다.
공사는 이번 제도 개선으로 EUV 장비의 국내 반입과 설치 일정에 대한 예측 가능성이 높아지고, 반도체 기업들의 행정적·시간적 부담도 크게 완화될 것으로 기대하고 있다.
박경국 한국가스안전공사 사장은 “이번 제도개선과 검사혁신은 안전관리 수준은 유지하면서 산업 현장의 불합리한 부담을 줄인 규제 합리화의 대표 사례”라며 “앞으로도 반도체 산업의 경쟁력 강화와 안정적인 성장을 지원할 수 있도록 산업계와 긴밀히 소통해 나가겠다”고 말했다.