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(왼쪽부터) 시넴 귀벤(Sinem Guven) ASML 부사장이 박경국 가스안전공사 사장에게 감사패를 전달하고 있다./한국가스안전공사 제공

[투데이에너지 신영균 기자] 한국가스안전공사가 반도체 산업 발전과 안전관리 강화에 기여한 공로를 인정받았다. 이에 시넴 귀벤(Sinem Guven) ASML 부사장이 21일 가스안전공사 본사를 방문해 박경국 사장에게 감사패를 전달했다. ASML(Advanced Semiconductor Materials Lithography)은 세계 최대 반도체 노광장비를 제조하는 네덜란드 기업이다. 이날 ASML이 전달한 감사패에는 가스안전공사가 반도체 제조용 극자외선 노광장비(EUV)에 대한 신속한 제도 개선과 검사 체계 혁신 등을 달성한 것에 대한 감사 의미가 담겨있다.

실제로 그간 가스안전공사는 정부와 협력해 EUV 장비를 '고압가스 안전관리법'에 따른 특정설비로 전환하는 법령 개정을 추진하고 EUV 장비 도입 기간을 기존 34일에서 9일로 대폭 단축했다. 또한 반도체 제조용 극자외선 노광장비 제조 시설·기술·검사 기준 등 상세기준 AA916을 제정하는 과정에서 내외부 의견 수렴을 통해 업계 수요가 충분히 반영될 수 있도록 주력했다.

아울러 분과위원회를 비롯한 기준위원회 개최와 최종적으로 정부 승인까지 모든 상세기준 제개정 절차를 한 달여 남짓 기간 안에 완료하며 극자외선 노광장비가 국내에 신속히 도입되고 가동될 수 있도록 지원했다. 이어 공사는 후속 조치로 검사 절차 신속화 방안을 마련했다. 이를 통해 공장 등록 및 생산 단계 검사 처리 기간을 대폭 단축하는 패스트 트랙 검사를 완수했다. 이에 따라 향후 EUV 장비가 국내에 반입 후 이를 설치하는 일정에 대한 예측 가능성이 높아졌다. 그 결과 반도체 산업 현장에서 행정적·시간적 부담도 크게 완화될 것으로 기대되고 있다.

박경국 가스안전공사 사장은 “이번 제도 개선과 검사 혁신은 안전관리 수준을 유지하며 반도체 산업 현장에서 불합리한 부담을 줄인 규제 합리화 모범 사례”라며 “앞으로도 반도체 산업 경쟁력 확보와 안정적인 성장을 지원할 수 있도록 산업계와 긴밀히 소통하겠다”고 말했다.

■ 용어 설명

EUV(Extreme Ultraviolet) = 최첨단 반도체를 생산하는데 사용하는 극자외선 노광 기술이나 장비

패스트 트랙(Fast Track) 검사 = 가스안전공사 내 전문가로 합동 심사팀을 구성하고 기존에 각각 순차적으로 실시하던 공장 심사와 생산단계 검사를 통합 추진해 검사 기간을 50일에서 18일로 대폭 단축한 모든 과정을 의미한다.

출처 : 투데이에너지(https://www.todayenergy.kr/)