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다양한 특수가스용기는 재검사하기 전에 잔가스부터 철저히 처리해야 한다. 잔가스처리를 위해 특수가스용기의 밸브를 탈착한 모습.

[가스신문 = 한상열 기자] 최근 몇몇 가스전문검사기관에서 반도체용 특수가스 및 독성가스용기의 용기용 밸브를 열다가 다양한 형태의 사고가 발생해 가스회사가 밸브를 개방하거나 탈착한 후 재검사를 맡겨야 한다는 지적이 나오고 있다.

반도체용 특수가스는 워낙 종류도 많고 가연성, 독성, 부식성 등에 따라 취급하는 방법 또한 다르기 때문에 전문성을 지닌 특수가스제조 및 판매회사가 잔가스를 모두 빼내고 재검사를 의뢰해야 한다는 것이다.

수도권 가스전문검사기관의 한 관계자는 “우리 회사만 해도 밸브를 개방하다 화재가 발생하는 등 여러 가지의 사고를 경험했다”면서 “특히 독성가스의 경우 그 자체로도 인체에 치명적일 뿐만 아니라 압력까지 남아 있어 위험하기 짝이 없다”고 밝혔다.

가스전문검사기관에서 발생한 사고의 형태는 매우 다양하다. 지난해 한 재검사장에서 가연성가스인 모노실란(SiH4)용기의 밸브를 개방하자마자 불꽃이 발생해 큰 사고로 번질 뻔했다고 한다. 다행히 작업자가 빠르게 피함으로써 화상을 입지는 않았다.

또 다른 재검사장에서는 잔가스와 함께 압력이 남아 있는 용기의 밸브를 탈착하는 과정에서 밸브가 천장으로 날아가는 사고도 있었다. 특수가스업계 일각에서는 잔가스가 있는 용기는 압력까지 남았다는 얘기이므로 가스업체가 잔가스부터 완전히 회수한 후 밸브를 탈착해 검사를 맡겨야 한다고 설명했다.

독성가스용기 가운데 수압검사를 위해 물을 넣자 엄청난 반응을 하면서 재검사장이 갑자기 아수라장이 되는 사고도 있었다. 가스전문검사기관의 관계자들은 반도체용 특수가스용기의 취급과 관련해 특수가스제조 및 판매회사가 나서 예상할 수 있는 사고를 막기 위해서는 사전에 철저히 조치한 후 검사를 의뢰해맡겨야 한다고 강조했다.

고압가스안전관리법 시행규칙 제37조 제4항을 통해 고압용기 밸브 등 용기 부속품의 탈부착은 △용기제조자△특정설비제조자 △냉동기제조자 △고압가스제조자 △검사기관 등이 판단해 교체 등의 작업을 할 수 있도록 명시해 놓았다.

하지만 가스전문검사기관 종사자들은 독성가스를 포함함 반도체용 특수가스에 한해 가스제조 및 판매사업자가 밸브를 개방하는 등 잔가스처리를 처리한 후 재검사를 의뢰해야 뜻하지 않게 발생할 수 있는 사고를 예방할 수 있다고 설명했다.

특수가스용기를 전문적으로 검사하는 한 전문검사기관에서는 특수가스업체에서 용기 재검사를 의뢰할 때 잔가스를 처리했다는 표시를 스티커로 제작, 용기 외면에 부착하는 것이 가장 효과적인 대안이라고 지적했다. 잔가스처리를 자체적으로 하기 어려운 경우 가스안전공사 산업가스안전기술센터 외에도 최근 민간이 운영하는 잔가스처리업체도 많이 늘어났으므로 철저하게 처리한 후 재검사해야 한다는 것도 덧붙여 설명했다.

출처 : 가스신문(https://www.gasnews.com/)