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반도체용 가스 순도 평가기술 개발 등 발표
4일, 가스분석 측정클럽 워크숍
한국표준과학연구원 정진상 그룹장이 KRISS의 주요사업에 대해 설명하고 있다.
레귤레이터 등 혼합가스와 관련한 제품을 전시하고 있다. 5개 회사가 KRISS 기술지원동 로비에 자사의 제품을 전시해 참가자들의 관심을 끌었다.
[가스신문 = 한상열 기자] 한국표준과학연구원(KRISS)은 4일 대전 연구원 내 기술지원동에서 가스분석 측정클럽 워크숍을 열고 반도체용 특수가스 소재의 순도 분석기술 개발 등 다양한 내용의 주제발표가 이어져 높은 관심도를 나타냈다.
국내 산업가스 및 특수가스제조업체의 분석 담당자 등 100여명이 참석한 가운데 열린 이날 워크숍에서 가스분석 측정클럽 이상일 회장은 “오랜만에 연구원에서 개최하게 됐는데 참석자들이 많아 더욱 감사드린다”면서 “이번 워크숍에서 다양한 주제발표를 하는 가운데 참석자 간 활발한 정보교류의 장이 되기를 기대한다”고 밝혔다.
이어 KRISS 정진상 그룹장이 나서 가스분석 측정클럽 최정근 운영위원회 위원장을 비롯해 위원, 그리고 이날 참석한 회사의 직원들을 모두 소개했다.
첫 번째 주제발표에서 ‘KRISS의 주요사업’에 대한 설명에 나선 정진상 그룹장은 “가스분석 측정클럽에서는 LNG 및 수소 전주기 품질 측정표준 개발은 물론 아보가드로 상수 기반 물질량 표준 확립, 공기 중 네온(Ne) 기체 농축 및 포집 시스템 개선, 중량법을 이용한 Ne 동위원소비 CMR(Certified Reference Material 표준인증물질) 개발 등을 추진해왔다”면서 “이밖에 반도체용 특수가스 소재의 국가 측정체계 기반 구축, 반도체용 특수가스 소재 순도분석 시설 구축, 기후위기 대응 온실가스 및 탄소중립 측정표준 확립 등의 사업도 진행하고 있다”고 했다.
이어 ‘바탕가스 측정 순도분석 자동화’를 주제로 발표한 KRISS 김형래 선임연구원은 “가스산업의 고도화로 고객사의 측정에 대한 품질 요구사항이 점점 강화되고 있다”면서 “바탕가스의 순도 분석결과에 따라 가스혼합물의 불순물 농도 및 불확도에 크게 영향을 미친다”고 덧붙였다.
‘온실가스 측정용 에어정제기’를 주제로 발표에 나선 KRISS 강지환 선임기술원은 “에어가스의 바탕가스는 질소, 산소, 아르곤, 이산화탄소, 메탄, 아산화질소 등이 있다”면서 “이 가운데 이산화탄소(CO2)의 성분은 (370~900µ㏖/㏖)/Air, 메탄(CH4)은 (2.0~4.0µ㏖/㏖)/Air, 아산화질소(N2O)는 (270~400µ㏖/㏖)/Air 등으로 분석됐다”고 설명했다.
‘반도체용 특수가스 연구 소개’에 나선 KRISS 오상협 책임연구원은 “반도체용 가스 소재의 순도 분석기술 개발이라는 세션에서 순도분석은 전체에서 모든 불순물의 양을 빼서 결정한다”면서 “여기서 모든 불순물은 과학적이고 합리적이지만 비현실적”이라고 역설했다.
이어 홍지룡 책임연구원은 '수소 품질검사 관련 국제비교 및 CRM 보급'에 대해 발표했는데 참석자들은 중량법 기반 교정용 표준가스 제조에 대해 주목했다.
그리고 한국가스안전공사 강정훈 차장이 ‘실린더 각인 및 충전기한을 중심으로 한 고압가스안전관리법’에 대해 설명했다.
강정훈 차장은 “고압용기 등의 검사는 고압가스안전관리법 제17조에 따라 재검사가 필요한 경우가 있는데 이 중 제4항 ‘충전할 고압가스 종류의 변경’이 중요하다”면서 고법 제13조 제2항 및 시행규칙 제23조에 따른 ‘충전 전 용기의 안전점검 의무’의 중요성에 대해서도 강조했다.
강 차장은 또 “법이라는 게 바뀌어야 할 것은 바뀌어야 하고 공정해야 하는 것도 중요하다”면서 “특히 고압가스 충전 및 판매대장 기록 작성·보존과 관련한 고법 시행규칙 제23조 제4항 등은 대다수 사업자가 잘 준수하고 있다”고 덧붙였다.
이날 참석자들은 고압용기의 각인과 관련한 질의회신 사례에 대해 깊은 관심을 보이며 질문 공세가 이어지는 등 하루속히 각인 기준을 개정해야 한다며 한목소리를 냈다.
마지막 순서에서 ‘가스분석 및 측정기술’이라는 주제로 GnL 인민교 전무는 지르니코니아 산소 분석기에 대해 “고체 전해질인 지르니코니아 소자는 고온 환경에서 산소 이온에 대한 전도성이 있다”면서 “지르니코리아 소자의 양쪽면에 백금 전극을 부착한 상태에서 400℃ 이상으로 가열하고, 서로 다른 산소 농도를 가진 가스가 양면에 접촉하면 전기화학적 반응을 통해 기전력이 발생한다”고 설명했다.
한편 이날 워크숍이 열리는 연구원 내 기술지원동 로비에는 레귤레이터, 밸브, 듀와 등 혼합가스와 관련한 제품을 공급하는 GnL, 루스테크, 선우ENG, 두진, 대신테크 등 5개 업체가 자사의 제품을 각각 전시해 참가자들로부터 주목받았다.
가스분석 측정클럽 이상일 회장이 활발한 정보 교류의 장이 되어 달라는 내용으로 인사말을 하고 있다.
가스분석 측정클럽 워크솝을 마친 후 100여명의 참석자들이 파이팅을 외치며 기념촬영을 하고 있다.